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了解氮氫混合氣在電子器件生產中的應用

了解氮氫混合氣在電子器件生產中的應用。

在電子器件生產工藝中,使用了不同高純氣體。按工藝中高純氣體的不同用途,可將其分為保護氣、反應氣和載氣。

用作保護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣。為獲取氫氣和氨氣,為獲得較高純的氫氣,一般都采用電解純水的方法制取。這種方法需用大量電能來電解水,一般達4.5-5.5kWh/Nm3H2,致使成本很高,為減少電能消耗,減少成本,都在研制和應用不同混合氣。其中,以應用氮-氫混合氣為較多。國外多采用液態氫和液態氮汽化法獲得氮氫混合氣,也有采用液氮分解法獲得氮氫混合氣的。

用液氫和液氮汽化來獲得氮氧混合氣的方法,由于采用了液化后再汽化的工藝,故其投資和成本均較高。國外,由于生產的知識化程度高,使用單位多采用這種方法獲得混合氣。我們若從大型聯合企業的副產物獲得液氫和液氮,其成本要比電解氫和“空分”氮獲得的氫氣與氯氣要高。由液氨分解獲得的氮氧混合氣,由于液氮來源不同,大多數質量較差,其中仍含有未分解的氨、水和氧等雜質。此外,液氮多來源于化肥廠,目前,供應上較緊張,故成本也較高。

氮氫混合氣不但可在生產電子器件時取代氧氣用作保護氣,還可用于冶金、化工、機械等行業。一旦推廣應用,將產生可觀的經濟效益和社會效益。

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